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      空氣潔凈度等級標準及規范
      發布時間:2017-04-17

        空氣潔凈度等級標準及規范空氣潔凈標準和規范在經濟和科技發達的國家和地區都有自己的標準,都規定了有關的潔凈度等級。例如:美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》(GBJ73-84),1996年該規范進行較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。目前,該規范在重新修訂中。


        1,潔凈室或潔凈區內空氣懸浮粒子潔凈等級還有著名的美國聯邦標準(Fed.St.209系列)可以參考;2,ISO1644的ISO5相當于Fed.St.209系列的100級(≥0.5μm粒子,≤3.5顆/升,或100顆/ft3,或3530顆/m3)3,潔凈度等級在100級以下者(1000,10000級等)通常用0.5μm粒徑考核的居多;4,隨著微電子技術的發展,潔凈度等級相應提高,潔凈室檢測粒徑也越來越小(見表),對粒子檢測儀器的要求當然也越來越高,對潔凈室設計和施工方而言,在驗收時,可能不止用一個粒徑(如0.5μm)而要用到更多的粒徑,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm


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